ULSI製程技術 / 劉博文編著

• 作者： 劉博文 編著
• 出版： 臺北縣中和市 : 新文京開發 2003[民92]
• 主題： 半導體
• 版本：第二版
• ISBN： 9575127854 (平裝) :: 新臺幣520元
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• 書目註：含索引 含參考書目 附錄 : A. 矽, 鍺與GaAs在300K時之特性 ; B. 單位 ; C. 常用物理常數 ; D. 在300K時, 二氧化矽和氮化矽之特性 ; E. 壓力單位轉換表 ; F. 希臘字型
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• 系統號： 005104955 | 機讀編目格式