Micro electro mechanical system design / James J. Allen.

• 作者： Allen, James J.
• 其他題名：
  • Mechanical engineering ;
• 出版： Boca Raton, FL : Taylor & Francis 2005.
• 叢書名： Mechanical engineering ;191
• 主題： Engineering design , Microelectromechanical systems--Design and construction
• ISBN： 0824758242 (hbk.) :: NT4,675 、 9780824758240
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• 書目註：Includes bibliographical references and index.
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