MEMS : design and fabrication / edited by Mohamed Gad-el-Hak

• 其他作者：
  • Gad-el-Hak, Mohamed 1945-
• 其他題名：
  • Mechanical engineering series (Boca Raton, Fla.)
• 出版： Boca Raton, FL : CRC/Taylor & Francis 2006
• 叢書名： Mechanical engineering series , The MEMS handbook
• 主題： Microelectromechanical systems--Design and construction , Microfabrication
• 版本：2nd ed.
• ISBN： 0849391385 (hbk.) :: NT$1520.00 、 9780849391385 (hbk.)
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• 一般註：One of three parts whose previous edition was a published as a single volume
• 書目註：Includes bibliographical references and index
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• 系統號： 005136718 | 機讀編目格式