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應用微光機電製程技術於新穎微投影系統之設計與研究 = Design and Research of a Novel Pico-projection System by Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems(MOEMS) Technology / 朱奕豪

館藏資訊

摘要註

由於積分柱常應用於投影系統中，然而，目前微光學系統之製造技術鮮少開發微型積分柱與其他光學元件整合之製程技術。且微投影系統目前售價偏高，主因為光學零組件不易製造，成本過高。因此本研究期望利用MEMS技術，製作微投影系統中所需之微型積分柱，以達到具備高精度微元件、簡化組裝或光路設計及批次化製造以降低成本之目的。本研究先了解市售的投影機以及微投影機的內部架構，利用光學模擬軟體Trace pro模擬微投影機的內部光路，進而利用MEMS製程技術，開發出可批次化生產的內部光學元件的製程技術，如微型積分柱。

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