導電氮化銅薄膜之高功率脈衝磁控濺鍍製程開發及應用 = Characterizations of conductive copper nitride films deposited by high power impulse magnetron sputtering and it's application / 陳胤宏.

• 作者： 陳胤宏
• 其他題名：
  • Characterizations of conductive copper nitride films deposited by high power impulse magnetron sputtering and it's application
• 主題： 氮化銅(Cu3N) 氮流率比 導電型態 工作壓力 工作週期 Cu2+離子感測元件. , copper nitride (Cu3N) nitrogen flow rate ratio conductivity type working pressure duty cycle Cu2+ ion sensing.
• URL： 電子資源
  
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• 一般註：指導教授: 陳勝吉. 學年度: 107.
• 書目註：參考書目： 葉.
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