高功率脈衝磁控與射頻系統共濺鍍Cr-W-N膜之研究 = Study on the characterizations of Cr-W-N coatings by HIPIMS/RFMS co-sputtering / 吳承恩.

• 作者： 吳承恩
• 其他題名：
  • Study on the characterizations of Cr-W-N coatings by HIPIMS/RFMS co-sputtering
• 主題： 高功率脈衝磁控濺鍍 同步偏壓 氮化鉻鎢 擴散阻障層. , HIPIMS Synchronized bias Cr-W-N Diffusion barrier.
• URL： 電子資源
  
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• 一般註：指導教授: 張麗君. 學年度: 109.
• 書目註：參考書目： 葉.
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