靶材毒化比例對疊加型高功率脈衝磁控濺鍍系統製備氧化鈦薄膜之性質影響分析 = Effect of target poisoning ratios on the fabrication of TiOx coatings using superimposed HiPIMS and MF system / 陳威廷.

• 作者： 陳威廷
• 其他題名：
  • Effect of target poisoning ratios on the fabrication of TiOx coatings using superimposed HiPIMS and MF system
• 主題： 疊加型高功率脈衝磁控濺鍍系統 電漿放射監控儀 靶材毒化 遲滯效應 氧化鈦薄膜. , Superimposed high power impulse magnetron sputtering Plasma emission monitoring Target poisoning Hysteresis effect TiO coatings.
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• 一般註：指導教授: 李志偉. 學年度: 109.
• 書目註：參考書目： 葉.
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